Barco de cristal de quartzo de alta pureza pode ser personalizado

Pequena descrição:

No processo de fabricação de IC semicondutores, muitas vezes é necessário usar uma ferramenta para transferência, limpeza e processamento de chips. A ferramenta que carrega o chip é geralmente chamada de barco wafer, que será fornecido com vários slots de wafer, cada slot de wafer é usado para colocar um wafer.No processo de fabricação de wafers semicondutores, o processo de difusão do tubo do forno é um dos processos básicos.No processo de difusão, vários wafers são primeiro colocados em um barco de cristal de quartzo e, em seguida, o barco de cristal de quartzo é colocado no tubo do forno para fabricação em lote.


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As vantagens do quartzo são as seguintes:

1, resistência a altas temperaturas.A temperatura do ponto de amolecimento do vidro de quartzo é de cerca de 1730 ° C, que pode ser usada por um longo período a 1150 ° C, e a temperatura máxima por um curto período de tempo pode chegar a 1450 ° C.

2, resistência à corrosão.Além do ácido fluorídrico, o quartzo de alta pureza quase não reage com outras substâncias ácidas; em altas temperaturas, pode resistir ao ácido sulfúrico, ácido nítrico, ácido clorídrico, água real, sais neutros, erosão de carbono e enxofre.Sua resistência aos ácidos é 30 vezes maior que a da cerâmica, 150 vezes maior que a do aço inoxidável, principalmente sua estabilidade química em altas temperaturas, incomparável a qualquer outro material de engenharia.

3, boa estabilidade térmica.O coeficiente de expansão térmica do quartzo de alta pureza é muito pequeno, pode suportar mudanças intensas de temperatura, o quartzo de alta pureza é aquecido a cerca de 1100 ℃ e não explode na água em temperatura normal.

4, bom desempenho de transmissão de luz.O quartzo de alta pureza tem bom desempenho de transmissão de luz em toda a banda espectral do ultravioleta ao infravermelho, transmitância de luz visível superior a 93%, especialmente na região espectral ultravioleta, ~ grande transmitância de luz superior a 80%.

5, bom desempenho de isolamento elétrico.O valor de resistência do quartzo de alta pureza é equivalente a 10.000 vezes o do vidro de quartzo comum, que é um excelente material de isolamento elétrico e possui boas propriedades elétricas mesmo em altas temperaturas.

Ferrotec 精密石英

Para atender às necessidades do cliente, a Semicera Energy pode produzir uma variedade de produtos de quartzo, contando com as três principais vantagens técnicas da tecnologia de processamento de precisão, tecnologia de soldagem, tecnologia de tratamento de superfície (limpeza) e o apoio de uma equipe técnica profissional com visão global, sob medida -fabricamos produtos de alta qualidade para os clientes.

 

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Máquina de equipamento
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
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