Revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) com alta pureza, estabilidade em altas temperaturas e alta resistência química

Pequena descrição:

O revestimento TaC é uma nova geração de material resistente a altas temperaturas, com melhor estabilidade em altas temperaturas do que o SiC, como um revestimento resistente à corrosão, revestimento resistente à oxidação, revestimento resistente ao desgaste, pode ser usado em ambientes acima de 2.000 ℃, amplamente utilizado na indústria aeroespacial ultra- peças de extremidade quente de alta temperatura, a terceira geração de crescimento de cristal único semicondutor e outros campos.

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Semicera A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator.O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e Semicera Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.

Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D.Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa.Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único

Parte Tac para crescimento de cristal único

Revestimento antidesgaste de carboneto de tântalo_ Protege o equipamento contra desgaste e corrosão Imagem em destaque

Grafite com anel revestido com TaC

com e sem TaC

Depois de usar TaC (direita)

Além disso, a vida útil dos produtos de revestimento TaC da Semicera é mais longa e mais resistente a altas temperaturas do que a do revestimento SiC.Após um longo período de dados de medição em laboratório, nosso TaC pode funcionar por um longo período a no máximo 2.300 graus Celsius.A seguir estão algumas de nossas amostras: