Placa de suporte do susceptor revestida com carboneto de tântaloé um susceptor ou estrutura de suporte que é coberto por uma fina camada decarboneto de tântalo. Este revestimento pode ser formado na superfície do susceptor por técnicas como deposição física de vapor (PVD) ou deposição química de vapor (CVD), dando ao susceptor as propriedades superiores decarboneto de tântalo.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D. Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
As principais características das placas de suporte de base revestidas com carboneto de tântalo incluem:
1. Estabilidade em altas temperaturas: O carboneto de tântalo tem excelente estabilidade em altas temperaturas, tornando a placa de suporte de base revestida adequada para necessidades de suporte em ambientes de trabalho de alta temperatura.
2. Resistência à corrosão: O revestimento de carboneto de tântalo tem boa resistência à corrosão, pode resistir à corrosão química e à oxidação e prolongar a vida útil da base.
3. Alta dureza e resistência ao desgaste: A alta dureza do revestimento de carboneto de tântalo confere à placa de suporte de base uma boa resistência ao desgaste, o que é adequado para ocasiões que exigem alta resistência ao desgaste.
4. Estabilidade química: O carboneto de tântalo tem alta estabilidade a uma variedade de substâncias químicas, fazendo com que a placa de suporte de base revestida tenha um bom desempenho em alguns ambientes corrosivos.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
