Anéis guia de grafite revestidos com TaCreferem-se à deposição de uma fina camada decarboneto de tântalona superfície de um anel guia de grafite para melhorar sua resistência ao desgaste, resistência a altas temperaturas e estabilidade química. Este revestimento é geralmente formado na superfície de um anel guia de grafite por técnicas como deposição física de vapor (PVD) ou deposição química de vapor (CVD).
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D. Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
As principais características dos anéis guia de grafite revestidos com TaC incluem:
1. Resistência a altas temperaturas: o revestimento TaC tem excelente estabilidade em altas temperaturas e pode manter a estabilidade em ambientes de alta temperatura.
2. Resistência ao desgaste: A alta dureza da camada fina de carboneto de tântalo confere ao anel guia uma boa resistência ao desgaste e prolonga sua vida útil.
3. Estabilidade química: O revestimento TaC possui alta estabilidade contra corrosão química, tornando-o adequado para aplicações em alguns meios corrosivos.
4. Reduzir o atrito: o revestimento TaC pode efetivamente reduzir o atrito entre o anel guia de grafite e outros componentes e melhorar a eficiência das vedações mecânicas.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
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Meia lua superior revestida com carboneto de tântalo CVD
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Susceptor de wafer de revestimento CVD de carboneto de tântalo TaC
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Anel revestido de desgaste de carboneto de tântalo
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Anel de desvio de revestimento de carboneto de tântalo
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Susceptor de wafer revestido de carboneto de tântalo
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Anel de segmento revestido com TaC