Susceptor de grafite com revestimento de carboneto de silício, bandeja de barril

Pequena descrição:

A Semicera oferece uma ampla gama de susceptores e componentes de grafite projetados para vários reatores de epitaxia.

Por meio de parcerias estratégicas com OEMs líderes do setor, ampla experiência em materiais e recursos avançados de fabricação, a Semicera oferece projetos personalizados para atender aos requisitos específicos de sua aplicação.Nosso compromisso com a excelência garante que você receba soluções ideais para suas necessidades de reatores epitaxiais.

 

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Descrição

Nossa empresa fornece serviços de processo de revestimento de SiC pelo método CVD na superfície de grafite, cerâmica e outros materiais, para que gases especiais contendo carbono e silício reajam em alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superfície dos materiais revestidos, formando camada protetora SIC.

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Principais características

1. Grafite revestida com SiC de alta pureza

2. Resistência superior ao calor e uniformidade térmica

3. Cristal SiC fino revestido para uma superfície lisa

4. Alta durabilidade contra limpeza química

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD
Estrutura de cristal Fase β do FCC
Densidade g/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamanho de grão μm 2~10
Pureza Química % 99.99995
Capacidade de calor J·kg-1·K-1 640
Temperatura de Sublimação 2700
Força Felexural MPa (TR 4 pontos) 415
Módulo de Young Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) 430
Expansão Térmica (CTE) 10-6K-1 4,5
Condutividade térmica (W/mK) 300
Foto 3
Foto 1
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Foto 5
Local de trabalho semicera
Local de trabalho de Semicera 2
Máquina de equipamento
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
Nosso serviço

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