Susceptor de grafite com revestimento de carboneto de silício

Breve descrição:

O susceptor de grafite com revestimento de carboneto de silício da Semicera Semiconductor fornece condutividade térmica e durabilidade excepcionais para aplicações de epitaxia. Confie no Semicera para obter susceptores avançados projetados para aprimorar seus processos epitaxiais com tecnologia superior de revestimento de SiC.

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Descrição

Os susceptores de grafite revestidos com SiC da Semicera são projetados usando substratos de grafite de alta qualidade, que são meticulosamente revestidos com carboneto de silício (SiC) por meio de processos avançados de deposição química de vapor (CVD). Este design inovador garante uma resistência excepcional ao choque térmico e à degradação química, prolongando significativamente a vida útil do susceptor de grafite revestido com SiC e garantindo um desempenho confiável durante todo o processo de fabricação de semicondutores.

Principais recursos:

1. Condutividade Térmica SuperiorO susceptor de grafite revestido com SiC apresenta excelente condutividade térmica, o que é crucial para a dissipação eficiente de calor durante a fabricação de semicondutores. Esse recurso minimiza gradientes térmicos na superfície do wafer, promovendo distribuição uniforme de temperatura, essencial para alcançar as propriedades semicondutoras desejadas.

2. Resistência robusta a choques químicos e térmicosO revestimento SiC oferece proteção formidável contra corrosão química e choque térmico, mantendo a integridade do susceptor de grafite mesmo em ambientes de processamento severos. Essa durabilidade aprimorada reduz o tempo de inatividade e prolonga a vida útil, contribuindo para aumentar a produtividade e a economia nas instalações de fabricação de semicondutores.

3. Personalização para necessidades específicasNossos susceptores de grafite revestidos com SiC podem ser adaptados para atender a requisitos e preferências específicas. Oferecemos uma variedade de opções de personalização, incluindo ajustes de tamanho e variações na espessura do revestimento, para garantir flexibilidade de projeto e desempenho otimizado para diferentes aplicações e parâmetros de processo.

Aplicações:

AplicaçõesOs revestimentosSemicera SiC são utilizados em vários estágios de fabricação de semicondutores, incluindo:
1. -Fabricação de chips LED
2. -Produção de polissilício
3. -Crescimento de cristal semicondutor
4. -Silício e SiC Epitaxia
5. -Oxidação e Difusão Térmica (TO&D)