Portadores de wafer de grafite revestido com carboneto de silício

1. Excelente estabilidade térmica e condutividadeNossos transportadores de wafer revestidos com SiC são excelentes na manutenção de temperaturas estáveis ​​e consistentes, cruciais para processos de CVD. Isso garante distribuição uniforme de calor, resultando em filme fino e qualidade de revestimento superiores.

2. Fabricação de precisãoCada suporte de wafer é fabricado de acordo com padrões exigentes, garantindo espessura uniforme e suavidade de superfície. Essa precisão é vital para alcançar taxas de deposição e propriedades de filme consistentes em vários wafers, melhorando a qualidade geral de fabricação.

3. Barreira de ImpurezaO revestimento de SiC atua como uma barreira impermeável, evitando a difusão de impurezas do susceptor para o wafer. Isso minimiza os riscos de contaminação, o que é fundamental para a produção de dispositivos semicondutores de alta pureza.

4. Durabilidade e eficiência de custosA construção robusta e o revestimento de SiC aumentam a durabilidade dos transportadores de wafer, reduzindo a frequência de substituições de susceptores. Isso leva a menores custos de manutenção e minimização do tempo de inatividade, aumentando a eficiência das operações de fabricação de semicondutores.

5. Opções de personalizaçãoOs transportadores de wafer Semicorex com revestimento de SiC podem ser personalizados para atender a requisitos específicos do processo, incluindo variações de tamanho, formato e espessura do revestimento. Essa flexibilidade permite a otimização do susceptor para atender às demandas exclusivas de diferentes processos de fabricação de semicondutores. As opções de personalização permitem o desenvolvimento de projetos de susceptores adaptados para aplicações especializadas, como fabricação de alto volume ou pesquisa e desenvolvimento, garantindo desempenho ideal para casos de uso específicos.