Tubos de crescimento de cristal SiC com revestimento avançado de carboneto de tântalo

Breve descrição:

O revestimento tem alta pureza, resistência a altas temperaturas e resistência química para proteger eficazmente as superfícies de grafite contra desgaste, corrosão e oxidação. O revestimento de carboneto de tântalo é uma tecnologia de revestimento de superfície de alto desempenho que fornece aprimoramento de desempenho superior, formando uma camada protetora resistente ao desgaste e à corrosão na superfície do material.

 


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Semicera A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade de temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e Semicera Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.

Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D. Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.

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com e sem TaC

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Depois de usar TaC (direita)

Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:

 
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Local de trabalho semicera
Local de trabalho de Semicera 2
Máquina de equipamento
Armazém Semicera
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
Nosso serviço

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