Produtos de carboneto de silício de alta pureza

Barco de wafer SiC

Barco wafer de carboneto de silícioé um dispositivo de suporte de carga para wafers, usado principalmente em processos de difusão solar e de semicondutores. Possui características como resistência ao desgaste, resistência à corrosão, resistência ao impacto em alta temperatura, resistência ao bombardeio de plasma, capacidade de suporte a altas temperaturas, alta condutividade térmica, alta dissipação de calor e uso a longo prazo que não é fácil de dobrar e deformar. Nossa empresa usa material de carboneto de silício de alta pureza para garantir a vida útil e fornece projetos personalizados, inclusive. vários verticais e horizontaisbarco de wafer.

Remo SiC

Opá cantilever de carboneto de silícioé usado principalmente no revestimento (difusão) de pastilhas de silício, que desempenha um papel crucial no carregamento e transporte de pastilhas de silício em alta temperatura. É um componente chavebolacha semicondutorasistemas de carregamento e possui as seguintes características principais:

1. Não se deforma em ambientes de alta temperatura e possui alta força de carga nos wafers;

2. É resistente ao frio extremo e ao calor rápido e tem uma longa vida útil;

3. O coeficiente de expansão térmica é pequeno, ampliando bastante o ciclo de manutenção e limpeza e reduzindo significativamente os poluentes.

Tubo de forno SiC

Tubo de processo de carboneto de silício, feito de SiC de alta pureza sem impurezas metálicas, não polui o wafer e é adequado para processos como semicondutores e difusão fotovoltaica, recozimento e processos de oxidação.

Braço Robô SiC

Braço robótico SiC, também conhecido como efetor final de transferência de wafer, é um braço robótico usado para transportar wafers semicondutores e é amplamente utilizado nas indústrias de semicondutores, optoeletrônicos e energia solar. O uso de carboneto de silício de alta pureza, com alta dureza, resistência ao desgaste, resistência sísmica, uso a longo prazo sem deformação, longa vida útil, etc., pode fornecer serviços personalizados.

Grafite para crescimento de cristais

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Cadinho de três pétalas de grafite

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Tubo guia de grafite

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Anel de grafite

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Escudo térmico de grafite

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Tubo eletrodo de grafite

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Defletor de grafite

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Mandril de grafite

Todos os processos utilizados para o cultivo de cristais semicondutores operam em ambientes corrosivos e de alta temperatura. A zona quente do forno de crescimento de cristal é geralmente equipada com alta pureza resistente ao calor e à corrosão. componentes de grafite, como aquecedores de grafite, cadinhos, cilindros, defletores, mandris, tubos, anéis, suportes, porcas, etcl Nosso produto acabado pode atingir um teor de cinzas inferior a 5 ppm.

Grafite para Epitaxia Semidondutora

Base de grafite

Barril Epitaxial de Grafite

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Base Epitaxial de Silício Monocry Stalline

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Peças de grafite MOCVD

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Dispositivo elétrico de grafite semicondutor

O processo epitaxial refere-se ao crescimento de um material de cristal único em um substrato de cristal único com o mesmo arranjo de rede do substrato. Requer muitas peças de grafite de altíssima pureza e base de grafite com revestimento SIC. A grafite de alta pureza usada para epitaxia semicondutora possui uma ampla gama de aplicações, que pode corresponder aos equipamentos mais comumente usados ​​na indústria, ao mesmo tempo, é extremamente alta. pureza, revestimento uniforme, excelente vida útil e resistência química e estabilidade térmica extremamente altas.

Material de isolamento e outros

Os materiais de isolamento térmico utilizados na produção de semicondutores são feltro duro de grafite, feltro macio, folha de grafite, materiais compostos de carbono, etc. Nossas matérias-primas são materiais de grafite importados, que podem ser cortados de acordo com a especificação dos clientes, e também podem ser vendidos como um todo. O material compósito de carbono é geralmente usado como transportador para o processo de produção de células solares monocristalinas e de polissilício.

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