41 peças de equipamento MOCVD com base de grafite de 4 polegadas

Breve descrição:

Introdução e uso do produto: Colocadas 41 peças de substrato de 4 horas, usadas para cultivo de LED com filme epitaxial azul esverdeado

Localização do dispositivo do produto: na câmara de reação, em contato direto com o wafer

Principais produtos a jusante: chips LED

Mercado final principal: LED


Detalhes do produto

Etiquetas de produto

Descrição

Nossa empresa forneceRevestimento de SiCserviços de processo pelo método CVD na superfície de grafite, cerâmica e outros materiais, de modo que gases especiais contendo carbono e silício reagem em alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superfície dos materiais revestidos, formando umCamada protetora de SiC.

41 peças de equipamento MOCVD com base de grafite de 4 polegadas

Principais recursos

1. Resistência à oxidação em alta temperatura:
a resistência à oxidação ainda é muito boa quando a temperatura chega a 1600 ℃.
2. Alta pureza: feita por deposição química de vapor sob condições de cloração de alta temperatura.
3. Resistência à erosão: alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
4. Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

 

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina Fase β do FCC
Densidade g/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamanho do grão μm 2~10
Pureza Química % 99.99995
Capacidade de calor J·kg-1·K-1 640
Temperatura de Sublimação 2700
Força Felexural MPa (TR 4 pontos) 415
Módulo de Young Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) 430
Expansão Térmica (CTE) 10-6K-1 4,5
Condutividade térmica (W/mK) 300
Local de trabalho semicera
Local de trabalho de Semicera 2
Máquina de equipamento
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
Armazém Semicera
Nosso serviço

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