19 peças de peças de equipamento MOCVD com base de grafite de 2 polegadas

Breve descrição:

Introdução e uso do produto: Coloque 19 peças de substrato 2 vezes para o crescimento do filme epitaxial LED ultravioleta profundo

Localização do dispositivo do produto: na câmara de reação, em contato direto com o wafer

Principais produtos a jusante: chips LED

Mercado final principal: LED


Detalhes do produto

Etiquetas de produto

Descrição

Nossa empresa forneceRevestimento de SiCserviços de processo pelo método CVD na superfície de grafite, cerâmica e outros materiais, de modo que gases especiais contendo carbono e silício reagem em alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superfície dos materiais revestidos, formandoCamada protetora de SiC.

Principais recursos

1. Resistência à oxidação em alta temperatura:
a resistência à oxidação ainda é muito boa quando a temperatura chega a 1600 C.
2. Alta pureza: feita por deposição química de vapor sob condições de cloração de alta temperatura.
3. Resistência à erosão: alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
4. Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina Fase β do FCC
Densidade g/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamanho do grão μm 2~10
Pureza Química % 99.99995
Capacidade de calor J·kg-1·K-1 640
Temperatura de Sublimação 2700
Força Felexural MPa (TR 4 pontos) 415
Módulo de Young Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) 430
Expansão Térmica (CTE) 10-6K-1 4,5
Condutividade térmica (W/mK) 300
19 peças de peças de equipamento MOCVD com base de grafite de 2 polegadas

Equipamento

sobre

Local de trabalho semicera
Local de trabalho de Semicera 2
Máquina de equipamento
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
Armazém Semicera
Nosso serviço

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