A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
O carboneto de silício (SiC) é um material chave na terceira geração de semicondutores, mas sua taxa de rendimento tem sido um fator limitante para o crescimento da indústria. Após extensos testes nos laboratórios da Semicera, descobriu-se que o TaC pulverizado e sinterizado carece da pureza e uniformidade necessárias. Em contrapartida, o processo CVD garante um nível de pureza de 5 PPM e excelente uniformidade. O uso de CVD TaC melhora significativamente a taxa de rendimento de wafers de carboneto de silício. Aceitamos discussõesAnel guia de revestimento CVD de carboneto de tântalo para reduzir ainda mais os custos dos wafers de SiC.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D. Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
