Folha de grafite revestida com carboneto de tântaloé um material de grafite com uma fina camada decarboneto de tântalona superfície do substrato. A fina camada de carboneto de tântalo é geralmente formada na superfície do substrato de grafite por técnicas como deposição física de vapor (PVD) ou deposição química de vapor (CVD). Este revestimento possui excelentes propriedades, como alta dureza, excelente resistência ao desgaste, resistência à corrosão e estabilidade em altas temperaturas.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D. Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
As principais vantagens da folha de grafite revestida com carboneto de tântalo incluem:
1. Resistência a altas temperaturas: O carboneto de tântalo tem um alto ponto de fusão e excelente estabilidade em altas temperaturas, tornando a folha de grafite revestida adequada para uso em ambientes de alta temperatura.
2. Resistência à corrosão: O revestimento de carboneto de tântalo pode resistir à erosão de muitas substâncias químicas corrosivas e prolongar a vida útil do material.
3. Alta dureza: A alta dureza da camada fina de carboneto de tântalo oferece boa resistência ao desgaste e é adequada para aplicações que exigem alta resistência ao desgaste.
4. Estabilidade química: O revestimento de carboneto de tântalo tem excelente estabilidade à corrosão química e é adequado para uso em alguns meios corrosivos.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
-
Susceptor revestido de carboneto de tântalo (TaC) para...
-
Material de campo térmico para cristais de carboneto de silício...
-
Susceptor de EPI de revestimento CVD de carboneto de tântalo
-
Susceptor revestido de carboneto de tântalo (TaC)
-
Anéis de três segmentos de grafite revestidos com TaC
-
Peça de carboneto de tântalo