A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Os transportadores de wafer revestidos com carboneto de tântalo são amplamente utilizados em processos de processamento e manuseio de wafer em processos de fabricação de semicondutores. Eles fornecem suporte e proteção estáveis para garantir a segurança, precisão e consistência dos wafers durante o processo de fabricação. Os revestimentos de carboneto de tântalo podem prolongar a vida útil do transportador, reduzir custos e melhorar a qualidade e a confiabilidade dos produtos semicondutores.
A descrição do transportador de wafer revestido com carboneto de tântalo é a seguinte:
1. Seleção de material: O carboneto de tântalo é um material com excelente desempenho, alta dureza, alto ponto de fusão, resistência à corrosão e excelentes propriedades mecânicas, por isso é amplamente utilizado no processo de fabricação de semicondutores.
2. Revestimento de superfície: O revestimento de carboneto de tântalo é aplicado à superfície do suporte de wafer por meio de um processo de revestimento especial para formar um revestimento de carboneto de tântalo uniforme e denso. Este revestimento pode fornecer proteção adicional e resistência ao desgaste, ao mesmo tempo que possui boa condutividade térmica.
3. Planicidade e precisão: O transportador de wafer revestido com carboneto de tântalo possui um alto grau de planicidade e precisão, garantindo a estabilidade e precisão dos wafers durante o processo de fabricação. O nivelamento e o acabamento da superfície do suporte são essenciais para garantir a qualidade e o desempenho do wafer.
4. Estabilidade de temperatura: Os transportadores de wafer revestidos com carboneto de tântalo podem manter a estabilidade em ambientes de alta temperatura sem deformação ou afrouxamento, garantindo a estabilidade e consistência dos wafers em processos de alta temperatura.
5. Resistência à corrosão: Os revestimentos de carboneto de tântalo têm excelente resistência à corrosão, podem resistir à erosão de produtos químicos e solventes e protegem o transportador da corrosão de líquidos e gases.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
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Placa planetária com revestimento de carboneto de tântalo (TaC)
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Peças personalizadas de revestimento CVD de carboneto de tântalo TaC
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Aquecedor MOCVD de carboneto de tântalo
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Tampas revestidas de carboneto de tântalo
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Placa de suporte do pedestal com revestimento de carboneto de tântalo
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Susceptor de wafer de revestimento CVD de carboneto de tântalo TaC