A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator.O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
A grafite é um excelente material para altas temperaturas, mas oxida facilmente em altas temperaturas.Mesmo em fornos a vácuo com gás inerte, ainda pode sofrer oxidação lenta.O uso de um revestimento de carboneto de tântalo CVD (TaC) pode proteger efetivamente o substrato de grafite, fornecendo a mesma resistência a altas temperaturas que o grafite.O TaC também é um material inerte, o que significa que não reage com gases como argônio ou hidrogênio em altas temperaturas.InvestigaçãoCadinho de revestimento CVD de carboneto de tântalo agora!
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D.Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa.Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos.Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
-
susceptor de revestimento TaC
-
Anel revestido de carboneto de tântalo
-
Susceptor de wafer de revestimento CVD de carboneto de tântalo TaC
-
Tubos de crescimento de cristal SiC com tântalo avançado...
-
Anel de grafite revestido de carboneto de tântalo
-
Peça de meia lua revestida com carboneto de tântalo CVD