A Placa Revestida TaC é um disco especializado projetado para uso em processos epitaxiais de SiC, fabricado com precisão a partir de material de grafite de alta qualidade. Sua superfície é meticulosamente revestida com carboneto de tântalo (TaC), um composto conhecido por sua excepcional pureza e resistência. O revestimento TaC aumenta a durabilidade e a resistência da placa a altas temperaturas, tornando-a ideal para as condições exigentes dos processos epitaxiais de SiC.
Esta inovadora placa revestida com TaC é um disco especializado projetado para uso em processos epitaxiais de SiC, fabricado com precisão a partir de material de grafite de alta qualidade. A superfície da placa revestida com TaC é meticulosamente revestida com carboneto de tântalo (TaC), um composto conhecido por sua pureza e resistência excepcionais. serve como uma plataforma confiável para transportar wafers durante vários estágios de crescimento epitaxial de SiC. Sua base de grafite de alta pureza proporciona uma superfície estável e inerte, enquanto o revestimento TaC adiciona uma camada extra de proteção contra reações químicas e desgaste.
SemiceraA Placa Revestida TaC é customizada de acordo com as necessidades específicas dos clientes, garantindo ótimo desempenho e compatibilidade com seus sistemas epitaxiais de SiC. Quer se trate de tamanho, formato ou outras especificações, essas placas são adaptadas para atender às necessidades exclusivas de cada aplicação.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
