A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Com o advento dos wafers de carboneto de silício (SiC) de 8 polegadas, os requisitos para vários processos de semicondutores tornaram-se cada vez mais rigorosos, especialmente para processos de epitaxia, onde as temperaturas podem exceder 2.000 graus Celsius. Materiais susceptores tradicionais, como grafite revestido com carboneto de silício, tendem a sublimar nessas altas temperaturas, interrompendo o processo de epitaxia. No entanto, o carboneto de tântalo CVD (TaC) resolve esse problema de maneira eficaz, suportando temperaturas de até 2.300 graus Celsius e oferecendo uma vida útil mais longa. Contato Semicera's Susceptor de wafer de revestimento CVD de carboneto de tântalo TaCpara explorar mais sobre nossas soluções avançadas.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D. Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
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Cobertura de grafite revestida com carboneto de tântalo
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Porta-wafer Epi revestido com TaC
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Peças personalizadas de revestimento CVD de carboneto de tântalo TaC
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Anel de desvio de revestimento de carboneto de tântalo
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Anel guia de revestimento CVD de carboneto de tântalo
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Anel revestido de carboneto de tântalo personalizado