Revestimento TaCé um importante material de revestimento, que geralmente é preparado à base de grafite pela tecnologia de deposição química de vapor orgânico metálico (MOCVD). Este revestimento possui excelentes propriedades, como alta dureza, excelente resistência ao desgaste, resistência a altas temperaturas e estabilidade química, e é adequado para diversas aplicações de engenharia de alta demanda.
A tecnologia MOCVD é uma tecnologia de crescimento de filme fino comumente usada que deposita o filme composto desejado na superfície do substrato, reagindo precursores orgânicos metálicos com gases reativos em altas temperaturas. Ao prepararRevestimento TaC, selecionando precursores metálicos orgânicos e fontes de carbono apropriados, controlando as condições de reação e os parâmetros de deposição, um filme de TaC uniforme e denso pode ser depositado sobre uma base de grafite.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D. Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
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Anel revestido de carboneto de tântalo (TaC)
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Meia lua superior revestida com carboneto de tântalo CVD
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Solução de carboneto de tântalo
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Anel guia de revestimento CVD de carboneto de tântalo
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Placa de suporte do pedestal com revestimento de carboneto de tântalo
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Anel de grafite revestido com carboneto de tântalo (TaC)