Portadores de wafer epitaxiais revestidos com TaCsão geralmente usados na preparação de dispositivos optoeletrônicos de alto desempenho, dispositivos de potência, sensores e outros campos. Essetransportador de wafer epitaxialrefere-se à deposição deTaCpelícula fina no substrato durante o processo de crescimento do cristal para formar um wafer com estrutura e desempenho específicos para posterior preparação do dispositivo.
A tecnologia de deposição química de vapor (CVD) é geralmente usada para prepararPortadores de wafer epitaxiais revestidos com TaC. Ao reagir precursores metálicos orgânicos e gases fonte de carbono em alta temperatura, um filme de TaC pode ser depositado na superfície do substrato cristalino. Este filme pode ter excelentes propriedades elétricas, ópticas e mecânicas e é adequado para a preparação de diversos dispositivos de alto desempenho.
A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D. Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos. Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
