Bolachas SOI

Breve descrição:

O wafer SOI é uma estrutura tipo sanduíche com três camadas; Incluindo a camada superior (camada do dispositivo), o meio da camada de oxigênio enterrada (para a camada isolante de SiO2) e o substrato inferior (silício a granel). Os wafers SOI são produzidos usando o método SIMOX e a tecnologia de ligação de wafer, que permite camadas de dispositivos mais finas e precisas, espessura uniforme e baixa densidade de defeitos.

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Etiquetas de produto

Bolachas SOI(1)

Campo de aplicação

1. Circuito integrado de alta velocidade

2. Dispositivos de microondas

3. Circuito integrado de alta temperatura

4. Dispositivos de energia

5. Circuito integrado de baixa potência

6. MEMS

7. Circuito integrado de baixa tensão

Item		Argumento
Geral	Diâmetro da bolacha 晶圆尺寸(mm)	50/75/100/125/150/200mm±25um
	Arco/Urdidura 翘曲度(	<10um
	Partículas 颗粒度(	0,3um<30ea
	Apartamentos/entalhe 定位边/定位槽	Plano ou entalhe
	Exclusão de borda 边缘去除(mm)	/
Camada de dispositivo 器件层	Tipo/dopante de camada de dispositivo 器件层掺杂类型	Tipo N/Tipo P B/P/Sb/As
	Orientação da camada de dispositivo 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Espessura da camada do dispositivo 器件层厚度(um)	0,1~300um
	Resistividade da camada de dispositivo 器件层电阻率(ohm•cm)	0,001~100.000 ohm-cm
	Partículas da camada de dispositivo 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	Camada de dispositivo TTV 器件层TTV(	<10um
	Acabamento da camada do dispositivo 器件层表面处理	Polido
CAIXA	Espessura de Óxido Térmico Enterrado 埋氧层厚度(um)	50nm(500Å)~15um
Lidar com Camada 衬底	Lidar com tipo de wafer/dopante 衬底层类型	Tipo N/Tipo P B/P/Sb/As
	Lidar com orientação do wafer 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Lidar com a resistividade do wafer 衬底电阻率(ohm•cm)	0,001~100.000 ohm-cm
	Lidar com espessura do wafer 衬底厚度(um)	>100um
	Lidar com acabamento wafer 衬底表面处理	Polido
Os wafers SOI com especificações de destino podem ser personalizados de acordo com os requisitos do cliente.