Transportadora de processamento PSS para transmissão de wafer semicondutor

Breve descrição:

O transportador de processamento PSS para transmissão de wafer semicondutor da Semicera foi projetado para manuseio e transferência eficientes de wafers semicondutores durante os processos de fabricação. Feito de materiais de alta qualidade, este transportador garante alinhamento preciso, contaminação mínima e transporte suave do wafer. Projetados para a indústria de semicondutores, os transportadores PSS da Semicera melhoram a eficiência, a confiabilidade e o rendimento do processo, tornando-os um componente essencial em aplicações de processamento e manuseio de wafers.


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Descrição do produto

Nossa empresa fornece serviços de processo de revestimento de SiC pelo método CVD na superfície de grafite, cerâmica e outros materiais, para que gases especiais contendo carbono e silício reajam em alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superfície dos materiais revestidos, formando camada protetora SIC.

Principais características:

1. Resistência à oxidação em alta temperatura:

a resistência à oxidação ainda é muito boa quando a temperatura chega a 1600 C.

2. Alta pureza: feita por deposição química de vapor sob condições de cloração de alta temperatura.

3. Resistência à erosão: alta dureza, superfície compacta, partículas finas.

4. Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD

Estrutura Cristalina

Fase β do FCC

Densidade

g/cm³

3.21

Dureza

Dureza Vickers

2500

Tamanho do grão

μm

2~10

Pureza Química

%

99.99995

Capacidade de calor

J·kg-1·K-1

640

Temperatura de Sublimação

2700

Força Felexural

MPa (TR 4 pontos)

415

Módulo de Young

Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C)

430

Expansão Térmica (CTE)

10-6K-1

4,5

Condutividade térmica

(W/mK)

300

Local de trabalho semicera
Local de trabalho de Semicera 2
Máquina de equipamento
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
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