Meias peças para equipamento epitaxial SiC

Breve descrição:

Peças de grafite revestidas com SiC para equipamentos epitaxiais de SiC.

Introdução e uso do produto: Tubo de quartzo conectado, pode passar gás para acionar a rotação da base da bandeja, controle de temperatura

Localização do dispositivo do produto: na câmara de reação, sem contato direto com o wafer

Principais produtos downstream: dispositivos de energia

Principal mercado de terminais: veículos de novas energias


Detalhes do produto

Etiquetas de produto

SiC revestidoParte Meia Lua Grafiteé um componente chave usado em processos de fabricação de semicondutores, especialmente para equipamentos epitaxiais de SiC. Utilizamos nossa tecnologia patenteada para fabricar a peça em meia-lua com altíssima pureza, boa uniformidade de revestimento e excelente vida útil, além de alta resistência química e propriedades de estabilidade térmica.

 
Local de trabalho semicera
Local de trabalho de Semicera 2
Máquina de equipamento
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
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