Susceptor de grafite com revestimento de carboneto de silício, transportador de wafer de 8 polegadas

Breve descrição:

A Semicera Energy oferece uma linha abrangente de susceptores e componentes de grafite projetados para vários reatores de epitaxia.

Por meio de parcerias estratégicas com OEMs líderes do setor, ampla experiência em materiais e recursos avançados de fabricação, a Weitai oferece projetos personalizados para atender aos requisitos específicos de sua aplicação. Nosso compromisso com a excelência garante que você receba soluções ideais para suas necessidades de reatores epitaxiais.


Detalhes do produto

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Descrição

Revestimento CVD-SiCtem as características de estrutura uniforme, material compacto, resistência a altas temperaturas, resistência à oxidação, alta pureza, resistência a ácidos e álcalis e reagentes orgânicos, com propriedades físicas e químicas estáveis.
 
Em comparação com materiais de grafite de alta pureza, a grafite começa a oxidar a 400C, o que causará uma perda de pó devido à oxidação, resultando em poluição ambiental para dispositivos periféricos e câmaras de vácuo, e aumentando as impurezas do ambiente de alta pureza.
No entanto,Revestimento de SiCpode manter a estabilidade física e química em 1600 graus. É amplamente utilizado na indústria moderna, especialmente na indústria de semicondutores.

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Principais recursos

1. Grafite revestida com SiC de alta pureza

2. Resistência superior ao calor e uniformidade térmica

3. Tudo bemCristal SiC revestidopara uma superfície lisa

4. Alta durabilidade contra limpeza química

 

Principais especificações dos revestimentos CVD-SIC:

SiC-CVD
Densidade (g/cc) 3.21
Resistência à flexão (Mpa) 470
Expansão térmica (10-6/K) 4
Condutividade térmica (W/mK) 300

Embalagem e Envio

Capacidade de fornecimento:
10.000 peças/peças por mês
Embalagem e entrega:
Embalagem: embalagem padrão e forte
Saco poli + caixa + caixa + palete
Porta:
Ningbo/Shenzhen/Xangai
Tempo de espera:

Quantidade (Peças) 1 – 1000 >1000
Husa. Tempo (dias) 30 A ser negociado
Local de trabalho semicera
Local de trabalho de Semicera 2
Máquina de equipamento
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
Armazém Semicera
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