Substrato de Si

Breve descrição:

Com sua precisão superior e alta pureza, o substrato de Si da Semicera garante desempenho confiável e consistente em aplicações críticas, incluindo a fabricação de Epi-Wafer e Óxido de Gálio (Ga2O3). Projetado para apoiar a produção de microeletrônica avançada, esse substrato oferece compatibilidade e estabilidade excepcionais, tornando-o um material essencial para tecnologias de ponta nos setores de telecomunicações, automotivo e industrial.


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O Substrato de Si da Semicera é um componente essencial na produção de dispositivos semicondutores de alto desempenho. Projetado a partir de silício (Si) de alta pureza, esse substrato oferece excepcional uniformidade, estabilidade e excelente condutividade, tornando-o ideal para uma ampla gama de aplicações avançadas na indústria de semicondutores. Seja usado na produção de Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer ou SiN Substrate, o Substrato Semicera Si oferece qualidade consistente e desempenho superior para atender às crescentes demandas da eletrônica moderna e da ciência dos materiais.

Desempenho incomparável com alta pureza e precisão

O Substrato de Si da Semicera é fabricado utilizando processos avançados que garantem alta pureza e rígido controle dimensional. O substrato serve como base para a produção de uma variedade de materiais de alto desempenho, incluindo Epi-Wafers e AlN Wafers. A precisão e uniformidade do substrato de Si tornam-no uma excelente escolha para a criação de camadas epitaxiais de película fina e outros componentes críticos usados ​​na produção de semicondutores de próxima geração. Esteja você trabalhando com óxido de gálio (Ga2O3) ou outros materiais avançados, o substrato de Si da Semicera garante os mais altos níveis de confiabilidade e desempenho.

Aplicações na fabricação de semicondutores

Na indústria de semicondutores, o substrato de Si da Semicera é utilizado em uma ampla gama de aplicações, incluindo a produção de Wafer de Si e substrato de SiC, onde fornece uma base estável e confiável para a deposição de camadas ativas. O substrato desempenha um papel crítico na fabricação de Wafers SOI (Silicon On Insulator), que são essenciais para microeletrônica avançada e circuitos integrados. Além disso, Epi-Wafers (wafers epitaxiais) construídos em substratos de Si são essenciais na produção de dispositivos semicondutores de alto desempenho, como transistores de potência, diodos e circuitos integrados.

O substrato de Si também suporta a fabricação de dispositivos usando óxido de gálio (Ga2O3), um material promissor de banda larga usado para aplicações de alta potência em eletrônica de potência. Além disso, a compatibilidade do substrato de Si da Semicera com wafers de AlN e outros substratos avançados garante que ele possa atender aos diversos requisitos das indústrias de alta tecnologia, tornando-o uma solução ideal para a produção de dispositivos de ponta nos setores de telecomunicações, automotivo e industrial. .

Qualidade confiável e consistente para aplicações de alta tecnologia

O Substrato de Si da Semicera é cuidadosamente projetado para atender às rigorosas demandas de fabricação de semicondutores. Sua excepcional integridade estrutural e propriedades de superfície de alta qualidade tornam-no o material ideal para uso em sistemas de cassetes para transporte de wafers, bem como para a criação de camadas de alta precisão em dispositivos semicondutores. A capacidade do substrato de manter uma qualidade consistente sob diversas condições de processo garante defeitos mínimos, melhorando o rendimento e o desempenho do produto final.

Com sua condutividade térmica superior, resistência mecânica e alta pureza, o substrato de Si da Semicera é o material preferido dos fabricantes que buscam atingir os mais altos padrões de precisão, confiabilidade e desempenho na produção de semicondutores.

Escolha o substrato de Si da Semicera para soluções de alta pureza e alto desempenho

Para fabricantes da indústria de semicondutores, o Si Substrate da Semicera oferece uma solução robusta e de alta qualidade para uma ampla gama de aplicações, desde a produção de Si Wafer até a criação de Epi-Wafers e SOI Wafers. Com pureza, precisão e confiabilidade incomparáveis, esse substrato permite a produção de dispositivos semicondutores de última geração, garantindo desempenho de longo prazo e eficiência ideal. Escolha Semicera para suas necessidades de substrato de Si e confie em um produto projetado para atender às demandas das tecnologias de amanhã.

Unid

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Fictício

Parâmetros de Cristal

Politipo

4H

Erro de orientação de superfície

<11-20 >4±0,15°

Parâmetros Elétricos

Dopante

Nitrogênio tipo n

Resistividade

0,015-0,025ohm·cm

Parâmetros Mecânicos

Diâmetro

150,0±0,2 mm

Grossura

350±25 μm

Orientação plana primária

[1-100]±5°

Comprimento plano primário

47,5±1,5mm

Apartamento secundário

Nenhum

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Arco

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Urdidura

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugosidade frontal (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Estrutura

Densidade de microtubos

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Impurezas metálicas

≤5E10átomos/cm2

NA

DBP

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Qualidade frontal

Frente

Si

Acabamento de superfície

CMP de face Si

Partículas

≤60ea/wafer (tamanho≥0,3μm)

NA

Arranhões

≤5ea/mm. Comprimento cumulativo ≤Diâmetro

Comprimento cumulativo≤2*Diâmetro

NA

Casca de laranja/caroços/manchas/estrias/rachaduras/contaminação

Nenhum

NA

Lascas/reentrâncias/fraturas/placas sextavadas nas bordas

Nenhum

Áreas politípicas

Nenhum

Área acumulada≤20%

Área acumulada≤30%

Marcação a laser frontal

Nenhum

Qualidade traseira

Acabamento traseiro

CMP face C

Arranhões

≤5ea/mm, comprimento cumulativo≤2*Diâmetro

NA

Defeitos traseiros (lascas/recortes nas bordas)

Nenhum

Rugosidade nas costas

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Marcação a laser traseira

1 mm (da borda superior)

Borda

Borda

Chanfro

Embalagem

Embalagem

Epi-pronto com embalagem a vácuo

Embalagem cassete multi-wafer

*Observações: "NA" significa sem solicitação. Itens não mencionados podem referir-se ao SEMI-STD.

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Bolachas de SiC

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