Aquecedor de substrato semicondutor MOCVD, elemento de aquecimento MOCVD

Breve descrição:

Novos aquecedores otimizados com construção toda em metal são capazes de restringir bastante a deformação em altas temperaturas. Isso faz com que possuam muitas vantagens de uso, como: alta repetibilidade, alta uniformidade, alta confiabilidade e alta compatibilidade.


Detalhes do produto

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Descrição

Aquecedor de substrato MOCVD, elementos de aquecimento para MOCVD
Aquecedor de grafite:
Os componentes do aquecedor de grafite são usados ​​no forno de alta temperatura com temperatura atingida de 2.200 graus em ambiente de vácuo e 3.000 graus em ambiente de gás desoxidado e inserido.

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Principais características do aquecedor de grafite

1. uniformidade da estrutura de aquecimento.
2. Boa condutividade elétrica e alta carga elétrica.
3. resistência à corrosão.
4. inoxidabilidade.
5. alta pureza química.
6. alta resistência mecânica.
A vantagem é eficiência energética, alto valor e baixa manutenção.
Podemos produzir cadinho de grafite antioxidação e longa vida útil, molde de grafite e todas as peças do aquecedor de grafite.

Grafite Química

Vantagem: Resistência a altas temperaturas
Aplicação: MOCVD/forno a vácuo/zona quente
Densidade aparente: 1,68-1,91g/cm3
Resistência à flexão: 30-46Mpa
Resistividade: 7-12μΩm

Parâmetros principais do aquecedor de grafite

Especificação Técnica VET-M3
Densidade aparente (g/cm3) ≥1,85
Conteúdo de cinzas (PPM) ≤500
Dureza Shore ≥45
Resistência Específica (μ.Ω.m) ≤12
Resistência à Flexão (Mpa) ≥40
Resistência à Compressão (Mpa) ≥70
Máx. Tamanho do grão (μm) ≤43
Coeficiente de Expansão Térmica Mm/°C ≤4,4*10-6

Aquecedor de grafite para forno elétrico possui propriedades de resistência ao calor, resistência à oxidação, boa condutividade elétrica e melhor intensidade mecânica. Podemos usinar vários tipos de aquecedores de grafite de acordo com os projetos dos clientes.

perfil de companhia

sobre (3)
é um fornecedor líder de cerâmica semicondutora avançada e o único fabricante na China que pode fornecer simultaneamente cerâmica de carboneto de silício de alta pureza (especialmente SiC recristalizado) e revestimento CVD SiC. Além disso, nossa empresa também está comprometida com campos cerâmicos como alumina, nitreto de alumínio, zircônia e nitreto de silício, etc.

Nossos principais produtos incluem: disco de gravação de carboneto de silício, reboque de barco de carboneto de silício, barco wafer de carboneto de silício (fotovoltaico e semicondutor), tubo de forno de carboneto de silício, pá cantilever de carboneto de silício, mandris de carboneto de silício, feixe de carboneto de silício, bem como o revestimento CVD SiC e TaC revestimento. Os produtos utilizados principalmente nas indústrias de semicondutores e fotovoltaicas, como equipamentos para crescimento de cristais, epitaxia, gravação, embalagem, revestimento e fornos de difusão, etc.

Nossa empresa possui equipamentos de produção completos, como moldagem, sinterização, processamento, equipamentos de revestimento, etc., que podem completar todos os elos necessários da produção do produto e ter maior controlabilidade da qualidade do produto; O plano de produção ideal pode ser selecionado de acordo com a necessidade do produto, resultando em menor custo e proporcionando aos clientes produtos mais competitivos; Podemos programar a produção de forma flexível e eficiente com base nos requisitos de entrega dos pedidos e em conjunto com sistemas de gerenciamento de pedidos on-line, proporcionando aos clientes prazos de entrega mais rápidos e garantidos.
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