Cassete semicondutor

Breve descrição:

Cassete semicondutor– Proteja e transporte seus wafers com precisão usando o Cassete Semicondutor da Semicera, projetado para garantir segurança e eficiência ideais em ambientes de fabricação de alta tecnologia.


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Semíceraapresenta oCassete semicondutor, uma ferramenta essencial para o manuseio seguro e eficiente de wafers em todo o processo de fabricação de semicondutores. Projetado com alta precisão, este cassete garante que seus wafers sejam armazenados e transportados com segurança, mantendo sua integridade em todas as etapas.

Proteção e durabilidade superioresOCassete semicondutorda Semicera foi construído para oferecer proteção máxima aos seus wafers. Construído com materiais robustos e resistentes à contaminação, ele protege seus wafers contra possíveis danos e contaminação, tornando-o a escolha ideal para ambientes de sala limpa. O design do cassete minimiza a geração de partículas e garante que os wafers permaneçam intactos e seguros durante o manuseio e transporte.

Design aprimorado para desempenho idealde SemíceraCassete semicondutorapresenta um design meticulosamente projetado que fornece alinhamento preciso do wafer, reduzindo o risco de desalinhamento e danos mecânicos. Os slots do cassete são perfeitamente espaçados para segurar cada wafer com segurança, evitando qualquer movimento que possa resultar em arranhões ou outras imperfeições.

Versatilidade e CompatibilidadeOCassete semicondutoré versátil e compatível com vários tamanhos de wafer, tornando-o adequado para diferentes estágios de fabricação de semicondutores. Esteja você trabalhando com dimensões de wafer padrão ou personalizadas, esse cassete se adapta às suas necessidades, oferecendo flexibilidade em seus processos de fabricação.

Manuseio simplificado e eficiênciaProjetado pensando no usuário, oCassete Semicondutor Semiceraé leve e fácil de manusear, permitindo carga e descarga rápida e eficiente. Este design ergonômico não só economiza tempo, mas também reduz o risco de erro humano, garantindo operações tranquilas em suas instalações.

Atendendo aos padrões da indústriaSemicera garante que oCassete semicondutoratende aos mais altos padrões da indústria em termos de qualidade e confiabilidade. Cada cassete passa por testes rigorosos para garantir seu desempenho consistente sob as exigentes condições de fabricação de semicondutores. Essa dedicação à qualidade garante que seus wafers estejam sempre protegidos, mantendo os elevados padrões exigidos pelo setor.

Unid

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Fictício

Parâmetros de Cristal

Politipo

4H

Erro de orientação de superfície

<11-20 >4±0,15°

Parâmetros Elétricos

Dopante

Nitrogênio tipo n

Resistividade

0,015-0,025ohm·cm

Parâmetros Mecânicos

Diâmetro

150,0±0,2 mm

Grossura

350±25 μm

Orientação plana primária

[1-100]±5°

Comprimento plano primário

47,5±1,5mm

Apartamento secundário

Nenhum

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Arco

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Urdidura

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugosidade frontal (Si-face) (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Estrutura

Densidade de microtubos

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Impurezas metálicas

≤5E10átomos/cm2

NA

DBP

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Qualidade frontal

Frente

Si

Acabamento de superfície

CMP de face Si

Partículas

≤60ea/wafer (tamanho≥0,3μm)

NA

Arranhões

≤5ea/mm. Comprimento cumulativo ≤Diâmetro

Comprimento cumulativo≤2*Diâmetro

NA

Casca de laranja/caroços/manchas/estrias/rachaduras/contaminação

Nenhum

NA

Lascas/reentrâncias/fraturas/placas sextavadas nas bordas

Nenhum

Áreas politípicas

Nenhum

Área acumulada≤20%

Área acumulada≤30%

Marcação a laser frontal

Nenhum

Qualidade traseira

Acabamento traseiro

CMP face C

Arranhões

≤5ea/mm, comprimento cumulativo≤2*Diâmetro

NA

Defeitos traseiros (lascas/recortes nas bordas)

Nenhum

Rugosidade nas costas

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Marcação a laser traseira

1 mm (da borda superior)

Borda

Borda

Chanfro

Embalagem

Embalagem

Epi-pronto com embalagem a vácuo

Embalagem cassete multi-wafer

*Observações: "NA" significa sem solicitação. Itens não mencionados podem referir-se ao SEMI-STD.

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Bolachas de SiC

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