Semíceraapresenta oCassete semicondutor, uma ferramenta essencial para o manuseio seguro e eficiente de wafers em todo o processo de fabricação de semicondutores. Projetado com alta precisão, este cassete garante que seus wafers sejam armazenados e transportados com segurança, mantendo sua integridade em todas as etapas.
Proteção e durabilidade superioresOCassete semicondutorda Semicera foi construído para oferecer proteção máxima aos seus wafers. Construído com materiais robustos e resistentes à contaminação, ele protege seus wafers contra possíveis danos e contaminação, tornando-o a escolha ideal para ambientes de sala limpa. O design do cassete minimiza a geração de partículas e garante que os wafers permaneçam intactos e seguros durante o manuseio e transporte.
Design aprimorado para desempenho idealde SemíceraCassete semicondutorapresenta um design meticulosamente projetado que fornece alinhamento preciso do wafer, reduzindo o risco de desalinhamento e danos mecânicos. Os slots do cassete são perfeitamente espaçados para segurar cada wafer com segurança, evitando qualquer movimento que possa resultar em arranhões ou outras imperfeições.
Versatilidade e CompatibilidadeOCassete semicondutoré versátil e compatível com vários tamanhos de wafer, tornando-o adequado para diferentes estágios de fabricação de semicondutores. Esteja você trabalhando com dimensões de wafer padrão ou personalizadas, esse cassete se adapta às suas necessidades, oferecendo flexibilidade em seus processos de fabricação.
Manuseio simplificado e eficiênciaProjetado pensando no usuário, oCassete Semicondutor Semiceraé leve e fácil de manusear, permitindo carga e descarga rápida e eficiente. Este design ergonômico não só economiza tempo, mas também reduz o risco de erro humano, garantindo operações tranquilas em suas instalações.
Atendendo aos padrões da indústriaSemicera garante que oCassete semicondutoratende aos mais altos padrões da indústria em termos de qualidade e confiabilidade. Cada cassete passa por testes rigorosos para garantir seu desempenho consistente sob as exigentes condições de fabricação de semicondutores. Essa dedicação à qualidade garante que seus wafers estejam sempre protegidos, mantendo os elevados padrões exigidos pelo setor.
Unid | Produção | Pesquisar | Fictício |
Parâmetros de Cristal | |||
Politipo | 4H | ||
Erro de orientação de superfície | <11-20 >4±0,15° | ||
Parâmetros Elétricos | |||
Dopante | Nitrogênio tipo n | ||
Resistividade | 0,015-0,025ohm·cm | ||
Parâmetros Mecânicos | |||
Diâmetro | 150,0±0,2 mm | ||
Grossura | 350±25 μm | ||
Orientação plana primária | [1-100]±5° | ||
Comprimento plano primário | 47,5±1,5mm | ||
Apartamento secundário | Nenhum | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
Arco | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Urdidura | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Rugosidade frontal (Si-face) (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Estrutura | |||
Densidade de microtubos | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Impurezas metálicas | ≤5E10átomos/cm2 | NA | |
DBP | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Qualidade frontal | |||
Frente | Si | ||
Acabamento de superfície | CMP de face Si | ||
Partículas | ≤60ea/wafer (tamanho≥0,3μm) | NA | |
Arranhões | ≤5ea/mm. Comprimento cumulativo ≤Diâmetro | Comprimento cumulativo≤2*Diâmetro | NA |
Casca de laranja/caroços/manchas/estrias/rachaduras/contaminação | Nenhum | NA | |
Lascas/reentrâncias/fraturas/placas sextavadas nas bordas | Nenhum | ||
Áreas politípicas | Nenhum | Área acumulada≤20% | Área acumulada≤30% |
Marcação a laser frontal | Nenhum | ||
Qualidade traseira | |||
Acabamento traseiro | CMP face C | ||
Arranhões | ≤5ea/mm, comprimento cumulativo≤2*Diâmetro | NA | |
Defeitos traseiros (lascas/recortes nas bordas) | Nenhum | ||
Rugosidade nas costas | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Marcação a laser traseira | 1 mm (da borda superior) | ||
Borda | |||
Borda | Chanfro | ||
Embalagem | |||
Embalagem | Epi-pronto com embalagem a vácuo Embalagem cassete multi-wafer | ||
*Observações: "NA" significa sem solicitação. Itens não mencionados podem referir-se ao SEMI-STD. |