Anel RTP CVD SiC

Breve descrição:

Os anéis RTP CVD SiC são compostos principalmente de carboneto de silício (SiC), cuja composição química e estrutura cristalina proporcionam excelente desempenho. O carboneto de silício é um material cerâmico com alto ponto de fusão, alta dureza e excelente resistência à corrosão. Apresenta boa condutividade térmica e estabilidade química em altas temperaturas e possui excelente resistência mecânica e resistência ao desgaste.

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Por que é o anel de gravação em carboneto de silício?

RTPAnéis CVD SiCsão amplamente utilizados em campos industriais e científicos em ambientes corrosivos e de alta temperatura. Desempenha um papel importante na fabricação de semicondutores, optoeletrônica, máquinas de precisão e indústria química. As aplicações específicas incluem:

1. Fabricação de semicondutores:Anéis RTP CVD SiCpode ser utilizado para aquecimento e resfriamento de equipamentos semicondutores, proporcionando controle estável de temperatura e garantindo a precisão e consistência do processo.

2. Optoeletrônica: Devido à sua excelente condutividade térmica e resistência a altas temperaturas, RTPAnéis CVD SiCpodem ser usados como materiais de suporte e dissipação de calor para lasers, equipamentos de comunicação de fibra óptica e componentes ópticos.

3. Máquinas de precisão: Os anéis RTP CVD SiC podem ser usados para instrumentos e equipamentos de precisão em ambientes corrosivos e de alta temperatura, como fornos de alta temperatura, dispositivos de vácuo e reatores químicos.

4. Indústria química: Devido à sua resistência à corrosão e estabilidade química, os anéis RTP CVD SiC podem ser usados em recipientes, tubos e reatores em reações químicas e processos catalíticos.

Sistema Epi

Sistema RTP

Sistema CVD

Desempenho do produto:

1. Conheça o processo abaixo de 28 nm

2. Super resistência à corrosão

3. Desempenho super limpo

4. Superdureza

5. Alta densidade

6. Resistência a altas temperaturas

7. Resistência ao desgaste

Aplicação do produto:

Os materiais de carboneto de silício têm características de alta dureza, resistência ao desgaste, resistência à corrosão e estabilidade a altas temperaturas. Produtos com excelente desempenho abrangente são amplamente utilizados em processos de gravação a seco e TF/Difusão.