Introdução do transportador de wafer
CATEGORIA DE PRODUTOS
▶Sistema transportador de wafer para processo PECVD e TALOX
• Barco de grafite PECVD e TALOX (M4~M12)
• Barco SM vertical (M4, M6)
• Peça de grafite para implante e chuveiro (M4~M6)
• Bandeja C/C e revestimento cerâmico
• Bandeja RIE de metal e revestimento cerâmico
• Vedação a vácuo: O-Ring e SQ-Ring
▶Processo de transferência de texturização e gravação úmida
• LSC H-Carrier ou cassete (M4~M12)
• LSC V-Carrier ou cassete (M4~M12)
• Transportador ASC ou cassete (M4, M6)
• Caixa de transporte e armazenamento W/F (M4~M12)
• Série de rodas de transporte (rolos)
▶Porta-células solares e porta-metal
• Transportador TRC ou cassete (M4~M12)
• Revista (com CINTO)
BARCO DE GRAFITE (Tipo H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
BARCO DE GRAFITE (Tipo H)
21P6-240CT WF M4~M12)
BARCO DE GRAFITE (Tipo H)
23P7-308CT (S/F M4~M12)
BARCO DE GRAFITE (Tipo H)
22P/7-294TP (S/F M4~M12)
BARCO DE GRAFITE (Tipo H)
W182-22P7-294CT (S/F M12)
W182-21P6-240CT (S/F M12)
TRANSPORTADORA E CAIXA DE ARMAZENAMENTO WF (~M12)
BANDEJA C/C ou TRANSPORTADOR (M4~M10)
BANDEJA C/C ou TRANSPORTADOR (M4~M10)
BARCO VERTICAL (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
PORTADOR ASC (~M6)
PORTADOR TRC (~M12)
PORTADOR TRC (~M12)
BARCO GRAFITE(M12)
Sistema transportador de wafer para processo PECVD
▶ BARCO DE GRAFITE (Projetado por CT) Processo M10/M12
• CONCEITO DE DESIGN ESPECIAL
▶ BARCO DE GRAFITE (projetado por CT) Processo M4/M6
▶ Peças acessórias para BARCO
▶ BARCO VERTICAL - WAFER DE 161,7mm
▶ BARCO VERTICAL - WAFER DE 166mm
▶ BARCO VERTICAL - 161,7 mm, WAFER de 166 mm
Transportador de células solares e transportador de metal TRC
TIPO: Automação
TAMANHO DA WAFER: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
USO: Carry (Cassete)
CAPACIDADE: 100 folhas
PASSO: 4,76 MM/5,953 mm/6,35 mm
DIMENSÃO: Aproximadamente 559×220×220MM
Aproximadamente 712×260×260MM
VANTAGEM: Atmosfera
MATERIAL: CHAMA, BARRA LATERAL-Alumínio (anodização)
PLACA LATERAL-POM (antiestática)
Tampa da barra inferior-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRANSPORTADOR TRC-METAL (LINHA DO USUÁRIO)
TRANSPORTADOR TRC-METAL (LINHA DO USUÁRIO)
TRANSPORTADOR TRC-METAL (LINHA DO USUÁRIO)
PLACA DE DUCHE E IMPLANTE, TRANSPORTADORA
