Quais são as principais etapas do processamento de substratos de SiC?

 

As etapas de produção e processamento para substratos de SiC são as seguintes:

 

1. Orientação Cristalina:

Usando difração de raios X para orientar o lingote de cristal. Quando um feixe de raios X é direcionado para a face desejada do cristal, o ângulo do feixe difratado determina a orientação do cristal.

 

2. Moagem de diâmetro externo:

Os monocristais cultivados em cadinhos de grafite geralmente excedem os diâmetros padrão. A retificação do diâmetro externo os reduz a tamanhos padrão.

 

 

3. retificação facial final:

Os substratos 4H-SiC de 4 polegadas normalmente têm duas bordas de posicionamento, primária e secundária. A retificação da face final abre essas bordas de posicionamento.

 

4. Serrar fio:

A serragem com fio é uma etapa crucial no processamento de substratos 4H-SiC. Rachaduras e danos subterrâneos causados ​​durante o corte com fio impactam negativamente os processos subsequentes, prolongando o tempo de processamento e causando perda de material. O método mais comum é o corte multifio com abrasivo diamantado. Um movimento alternativo de fios metálicos ligados com abrasivos de diamante é usado para cortar o lingote de 4H-SiC.

 

5. Chanframento:

Para evitar lascas nas bordas e reduzir perdas de consumíveis durante os processos subsequentes, as arestas vivas dos cavacos serrados com fio são chanfradas em formatos específicos.

 

6. Desbaste:

Serrar com fio deixa muitos arranhões e danos na superfície. O desbaste é feito com discos diamantados para remover ao máximo esses defeitos.

 

7. Moagem:

Este processo inclui desbaste e desbaste fino usando abrasivos de carboneto de boro ou diamante de tamanho menor para remover danos residuais e novos danos introduzidos durante o desbaste.

 

8. Polimento:

As etapas finais envolvem polimento bruto e polimento fino usando abrasivos de alumina ou óxido de silício. O líquido de polimento amolece a superfície, que é então removida mecanicamente por abrasivos. Esta etapa garante uma superfície lisa e sem danos.

 

9. Limpeza:

Remoção de partículas, metais, filmes de óxido, resíduos orgânicos e outros contaminantes remanescentes das etapas de processamento.