Todos os filmes finos usados na fabricação de semicondutores têm resistência, e a resistência do filme tem um impacto direto no desempenho do dispositivo. Normalmente não medimos a resistência absoluta do filme, mas utilizamos a resistência da folha para caracterizá-la.
O que são resistência de folha e resistividade de volume?
A resistividade volumétrica, também conhecida como resistividade volumétrica, é uma propriedade inerente de um material que caracteriza o quanto o material impede o fluxo de corrente elétrica. O símbolo comumente usado ρ representa que a unidade é Ω.
Resistência de folha, também conhecida como resistência de folha, o nome em inglês é resistência de folha, que se refere ao valor de resistência do filme por unidade de área. Símbolos comumente usados Rs ou ρs para expressar, a unidade é Ω/sq ou Ω/□
A relação entre os dois é: resistência da folha = resistividade volumétrica/espessura do filme, ou seja, Rs =ρ/t
Por que medir a resistência da folha?
Medir a resistência absoluta de um filme requer um conhecimento preciso das dimensões geométricas do filme (comprimento, largura, espessura), que possui muitas variáveis e é muito complexo para filmes muito finos ou de formato irregular. A resistência da folha está relacionada apenas à espessura do filme e pode ser testada de forma rápida e direta, sem cálculos complicados de tamanho.
Quais filmes precisam medir a resistência da folha?
Geralmente, os filmes condutores e os filmes semicondutores precisam ser medidos quanto à resistência quadrada, enquanto os filmes isolantes não precisam ser medidos.
Na dopagem de semicondutores, a resistência da folha de silício também é medida.
Como medir a resistência quadrada?
O método de quatro sondas é geralmente usado na indústria. O método de quatro sondas pode medir resistência quadrada variando de 1E-3 a 1E+9Ω/sq. O método de quatro sondas pode evitar erros de medição devido à resistência de contato entre a sonda e a amostra.
Métodos de medição:
1) Coloque quatro sondas dispostas linearmente na superfície da amostra.
2) Aplique uma corrente constante entre as duas sondas externas.
3) Determine a resistência medindo a diferença de potencial entre as duas pontas de prova internas
RS: resistência da folha
ΔV: Mudança na tensão medida entre sondas internas
I: Corrente aplicada entre as sondas externas
Horário da postagem: 29 de março de 2024