Equipamento de corte por microjato a laser (LMJ) pode ser usado na indústria de semicondutores

Breve descrição:

A tecnologia de microjato a laser (LMJ) é um método de processamento a laser que combina o laser com um jato de água “tão fino quanto um fio de cabelo” e guia com precisão o feixe de laser para a posição de processamento através da reflexão total do pulso no microjato de água de uma forma semelhante à fibra óptica tradicional. O jato de água resfria continuamente a área de corte e remove com eficácia os resíduos de processamento.


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Vantagens do processamento LMJ

Os defeitos inerentes ao processamento regular do laser podem ser superados pelo uso inteligente da tecnologia laser Laser micro jet (LMJ) para propagar as características ópticas da água e do ar. Esta tecnologia permite que os pulsos de laser totalmente refletidos no jato de água de alta pureza processado, de maneira imperturbável, alcancem a superfície de usinagem como na fibra óptica.

Equipamento de processamento a laser microjato-2-3
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As principais características da tecnologia LMJ são:

1. O feixe de laser é uma estrutura colunar (paralela).

2. O pulso do laser é transmitido no jato de água como uma fibra óptica, sem qualquer interferência ambiental.

3. O feixe de laser é focado no equipamento LMJ, e a altura da superfície usinada não muda durante todo o processo de processamento, portanto não é necessário continuar focando com a mudança da profundidade de processamento durante o processamento.

4. Limpe a superfície continuamente.

tecnologia de corte a laser microjato (1)

5. Além da ablação do material da peça por cada pulso de laser, a cada unidade de tempo desde o início de cada pulso até o próximo pulso, o material processado está no estado de água de resfriamento em tempo real por cerca de 99% do tempo , que quase elimina a zona afetada pelo calor e a camada de refusão, mas mantém a alta eficiência do processamento.

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Especificação geral

LCSA-100

LCSA-200

Volume da bancada

125 x 200 x 100

460×460×300

Eixo linear XY

Motor linear. Motor linear

Motor linear. Motor linear

Eixo linear Z

100

300

Precisão de posicionamento μm

+/- 5

+/- 3

Precisão de posicionamento repetido μm

+/- 2

+/- 1

Aceleração G

0,5

1

Controle numérico

3 eixos

3 eixos

Laser

 

 

Tipo de laser

DPSS Nd:YAG

DPSS Nd: YAG, pulso

Comprimento de onda nm

532/1064

532/1064

Potência nominal W

50/100/200

200/400

Jato de água

 

 

Diâmetro do bico μm

25-80

25-80

Barra de pressão do bico

100-600

0-600

Tamanho/Peso

 

 

Dimensões (Máquina) (L x C x A)

1050x800x1870

1200x1200x2000

Dimensões (gabinete de controle) (L x C x A)

700x2300x1600

700x2300x1600

Peso (equipamento) kg

1170

2500-3000

Peso (gabinete de controle) kg

700-750

700-750

Consumo abrangente de energia

 

 

Ientrada

CA 230 V +6%/ -10%, unidirecional 50/60 Hz ±1%

CA 400 V +6%/-10%, trifásico50/60 Hz ±1%

Valor de pico

2,5kVA

2,5kVA

Join

Cabo de alimentação de 10 m: P+N+E, 1,5 mm2

Cabo de alimentação de 10 m: P+N+E, 1,5 mm2

Gama de aplicações para usuários da indústria de semicondutores

≤4 polegadas de lingote redondo

≤4 polegadas de fatias de lingote

≤4 polegadas de gravação em lingote

 

≤6 polegadas de lingote redondo

Fatias de lingote de ≤6 polegadas

≤6 polegadas de gravação de lingote

A máquina atende ao valor teórico circular/cortar/cortar de 8 polegadas, e os resultados práticos específicos precisam ser otimizados na estratégia de corte

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tecnologia de corte a laser microjato (1)
tecnologia de corte a laser microjato (2)

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