Barco isostático de grafite PECVD

Breve descrição:

O barco isostático de grafite PECVD é amplamente utilizado em vários elos de fabricação de semicondutores, como deposição de filme de polissilício, deposição de filme de óxido, deposição de filme de nitreto, etc. Seu excelente desempenho o torna um transportador de wafer ideal no processo PECVD.

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O barco de grafite isostático PECVD SEMICERA é um produto de grafite de alta pureza e alta densidade projetado para suporte de wafer no processo PECVD (deposição química de vapor aprimorada por plasma). SEMICERA utiliza tecnologia avançada de prensagem isostática para garantir que o barco de grafite tenha excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, estabilidade dimensional e boa condutividade térmica, que é um consumível indispensável no processo de fabricação de semicondutores.

O barco isostático de grafite PECVD SEMICERA tem as seguintes vantagens:

▪ Alta pureza: O material de grafite é de alta pureza e baixo teor de impurezas para evitar contaminação da superfície do wafer.

▪ Alta densidade: Alta densidade, alta resistência mecânica, pode suportar altas temperaturas e ambientes de alto vácuo.

▪ Boa estabilidade dimensional: Pequena alteração dimensional em alta temperatura para garantir a estabilidade do processo.

▪ Excelente condutividade térmica: Transfere calor de forma eficaz para evitar o superaquecimento do wafer.

▪ Forte resistência à corrosão: Capaz de resistir à erosão por vários gases corrosivos e plasma.

Parâmetro de desempenho	semicera	SGL R6510	Parâmetro de desempenho
Densidade aparente (g/cm3)	1,91	1,83	1,85
Resistência à flexão (MPa)	63	60	49
Resistência à compressão (MPa)	135	130	103
Dureza Shore (HS)	70	64	60
Coeficiente de expansão térmica （10-6/K）	85	105	130
Coeficiente de expansão térmica （10-6/K）	5,85	4.2	5,0
Resistividade (μΩm)	11-13	13	10

Vantagens de nos escolher:
▪ Seleção de materiais: Materiais de grafite de alta pureza são usados para garantir a qualidade do produto.
▪ Tecnologia de processamento: A prensagem isostática é utilizada para garantir densidade e uniformidade do produto.
▪ Personalização de tamanho: Barcos de grafite de diversos tamanhos e formatos podem ser customizados de acordo com a necessidade do cliente.
▪ Tratamento de superfície: São fornecidos vários métodos de tratamento de superfície, como revestimento de carboneto de silício, nitreto de boro, etc., para atender a diferentes requisitos de processo.