Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) de alta qualidade

Breve descrição:

O revestimento TaC da Semicera oferece excepcional estabilidade em altas temperaturas, superando o SiC, suportando até 2.300 ℃. Ideal para crescimento de cristal único de semicondutores aeroespaciais e de terceira geração, oferece resistência à corrosão, oxidação e desgaste. Escolha Semicera para fabricação e qualidade de fábrica de alto nível.

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A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator. O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.

Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D. Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa. Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças da Semicera para crescimento de cristal único

Parte revestida com TaC para crescimento de cristal único

Revestimento antidesgaste de carboneto de tântalo_ Protege o equipamento contra desgaste e corrosão Imagem em destaque

Anel de grafite revestido com TaC

com e sem TaC

Depois de usar TaC (direita)

Além disso, a vida útil dos produtos de revestimento TaC da Semicera é mais longa e mais resistente a altas temperaturas do que a do revestimento SiC. Após um longo período de dados de medição em laboratório, nosso TaC pode funcionar por um longo período a no máximo 2.300 graus Celsius. A seguir estão algumas de nossas amostras: