As peças sólidas de CARBONETO DE SILICONE CVD são reconhecidas como a principal escolha para anéis e bases RTP/EPI e peças de cavidade plasm aetch que operam em altas temperaturas de operação exigidas pelo sistema (>1500°C), os requisitos de pureza são particularmente altos (>99,9995%) e o desempenho é especialmente bom quando a resistência a produtos químicos é particularmente alta. Esses materiais não contêm fases secundárias na borda do grão, portanto seus componentes produzem menos partículas que outros materiais. Além disso, esses componentes podem ser limpos usando HF/HCl quente com pouca degradação, resultando em menos partículas e maior vida útil.
