Pá de carboneto de silício de alta pureza

Breve descrição:

A pá de carboneto de silício de alta pureza Semicera foi projetada para aplicações avançadas de semicondutores, proporcionando estabilidade térmica e resistência mecânica superiores. Este SiC Paddle garante um manuseio preciso do wafer, tornando-o a escolha ideal para ambientes de alta temperatura. Contate-nos para dúvidas!


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Semicera Alta PurezaPá de carboneto de silícioé meticulosamente projetado para atender às rigorosas demandas dos modernos processos de fabricação de semicondutores. EsseRemo Cantilever SiCse destaca em ambientes de alta temperatura, oferecendo estabilidade térmica e durabilidade mecânica incomparáveis. A estrutura SiC Cantilever foi construída para suportar condições extremas, garantindo um manuseio confiável do wafer em vários processos.

Uma das principais inovações doRemo SiCé o seu design leve mas robusto, que permite fácil integração em sistemas existentes. Sua alta condutividade térmica ajuda a manter a estabilidade do wafer durante fases críticas, como gravação e deposição, minimizando o risco de danos ao wafer e garantindo maiores rendimentos de produção. O uso de carboneto de silício de alta densidade na construção da pá aumenta sua resistência ao desgaste, proporcionando vida operacional prolongada e reduzindo a necessidade de substituições frequentes.

A Semicera dá forte ênfase à inovação, oferecendo umaRemo Cantilever SiCque não apenas atende, mas excede os padrões da indústria. Esta pá é otimizada para uso em diversas aplicações de semicondutores, desde a deposição até a gravação, onde a precisão e a confiabilidade são cruciais. Ao integrar esta tecnologia de ponta, os fabricantes podem esperar maior eficiência, custos de manutenção reduzidos e qualidade consistente do produto.

Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado

Propriedade

Valor típico

Temperatura de trabalho (°C)

1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente)

Conteúdo SiC

> 99,96%

Conteúdo Si grátis

<0,1%

Densidade aparente

2,60-2,70g/cm3

Porosidade aparente

<16%

Força de compressão

> 600MPa

Resistência à flexão a frio

80-90MPa (20°C)

Resistência à flexão a quente

90-100MPa (1400°C)

Expansão térmica @1500°C

4,70 10-6/°C

Condutividade térmica @1200°C

23 W/m·K

Módulo elástico

240 GPa

Resistência ao choque térmico

Extremamente bom

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Local de trabalho semicera
Local de trabalho de Semicera 2
Máquina de equipamento
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
Armazém Semicera
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