Transportador/Susceptor de SiC de alta pureza

Imagem em destaque do portador/susceptor de SiC de alta pureza

Breve descrição:

O disco de rolamento de carboneto de silício também é conhecido como bandeja SIC, disco de gravação de carboneto de silício, disco de gravação ICP. Bandeja de carboneto de silício para gravação LED (bandeja SiC) φ600mm é um acessório especial para gravação profunda de silício (máquina de gravação ICP).

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Detalhes do produto

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Descrição

A cerâmica de carboneto de silício tem excelentes propriedades mecânicas à temperatura ambiente, como alta resistência, alta dureza, alto módulo de elasticidade, etc., também possui excelente estabilidade em altas temperaturas, como alta condutividade térmica, baixo coeficiente de expansão térmica e boa rigidez específica e óptica desempenho de processamento.
Eles são especialmente adequados para a produção de peças cerâmicas de precisão para equipamentos de circuito integrado, como máquinas de litografia, usadas principalmente para fabricar o transportador/susceptor de SiC, barco wafer de SiC, disco de sucção, placa de resfriamento de água, refletor de medição de precisão, grade e outras peças estruturais de cerâmica.

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Vantagens

Resistência a altas temperaturas: uso normal a 1800 ℃
Alta condutividade térmica: equivalente ao material de grafite
Alta dureza: dureza perdendo apenas para diamante, nitreto de boro
Resistência à corrosão: ácido forte e álcali não apresentam corrosão, a resistência à corrosão é melhor do que carboneto de tungstênio e alumina
Peso leve: baixa densidade, próximo ao alumínio
Sem deformação: baixo coeficiente de expansão térmica
Resistência ao choque térmico: pode suportar mudanças bruscas de temperatura, resistir ao choque térmico e ter desempenho estável
Transportadores de carboneto de silício, como transportadores de gravação sic, susceptores de gravação ICP, são amplamente utilizados em CVD de semicondutores, pulverização catódica a vácuo, etc. Podemos fornecer aos clientes transportadores de wafer personalizados de materiais de silício e carboneto de silício para atender a diferentes aplicações.

Vantagens

Propriedade	Valor	Método
Densidade	3,21 g/cc	Flutuador e dimensão
Calor específico	0,66 J/g °K	Flash laser pulsado
Resistência à flexão	450MPa560MPa	Curvatura de 4 pontos, curvatura de ponto RT4, 1300°
Resistência à fratura	2,94MPa m1/2	Microindentação
Dureza	2800	Vicker's, carga de 500g
Módulo de elasticidadeMódulo de Young	450 GPa430 GPa	Curvatura de 4 pontos, curvatura RT4 pontos, 1300 °C
Tamanho do grão	2 – 10 µm	SEM

perfil de companhia

é um fornecedor líder de cerâmica semicondutora avançada e o único fabricante na China que pode fornecer simultaneamente cerâmica de carboneto de silício de alta pureza (especialmente SiC recristalizado) e revestimento CVD SiC. Além disso, nossa empresa também está comprometida com campos cerâmicos como alumina, nitreto de alumínio, zircônia e nitreto de silício, etc.

Nossos principais produtos incluem: disco de gravação de carboneto de silício, reboque de barco de carboneto de silício, barco wafer de carboneto de silício (fotovoltaico e semicondutor), tubo de forno de carboneto de silício, pá cantilever de carboneto de silício, mandris de carboneto de silício, feixe de carboneto de silício, bem como o revestimento CVD SiC e TaC revestimento. Os produtos utilizados principalmente nas indústrias de semicondutores e fotovoltaicas, como equipamentos para crescimento de cristais, epitaxia, gravação, embalagem, revestimento e fornos de difusão, etc.
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