Susceptor de grafite com revestimento de carboneto de silício, 6 peças portador de wafer de 6 polegadas

O Susceptor de Grafite comRevestimento de carboneto de silício, 6 peçasTransportador de wafer de 6 polegadasda semicera oferece durabilidade e condutividade térmica excepcionais para aplicações de crescimento epitaxial de alto desempenho. A Semicera é especializada em susceptores avançados projetados para aprimorar processos comoSi EpitaxiaeEpitaxia SiC, garantindo desempenho confiável em ambientes exigentes de semicondutores.

Este susceptor foi projetado especificamente para uso comSusceptor de MOCVDsistemas e oferece compatibilidade com várias operadoras, como PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier e RTP Carrier. É ideal para produção de silício monocristalino e configurações de susceptor epitaxial de LED, oferecendo versatilidade em diferentes configurações, incluindo designs de susceptor de barril e susceptor de panqueca.

O Susceptor de Grafite com Revestimento de Carboneto de Silício também suporta aplicações no setor de energia solar através de sua integração com Peças Fotovoltaicas e se destaca em processos de GaN em SiC Epitaxy. Sua capacidade de suporte de wafer de 6 polegadas garante alto rendimento, tornando-o uma ferramenta essencial para fabricantes das indústrias de semicondutores e fotovoltaicas.