A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator.O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Com o advento dos wafers de carboneto de silício (SiC) de 8 polegadas, os requisitos para vários processos de semicondutores tornaram-se cada vez mais rigorosos, especialmente para processos de epitaxia, onde as temperaturas podem exceder 2.000 graus Celsius.Materiais susceptores tradicionais, como grafite revestido com carboneto de silício, tendem a sublimar nessas altas temperaturas, interrompendo o processo de epitaxia.No entanto, o carboneto de tântalo CVD (TaC) resolve esse problema de maneira eficaz, suportando temperaturas de até 2.300 graus Celsius e oferecendo uma vida útil mais longa.Contato Semicera's Meia lua superior revestida com carboneto de tântalo CVDpara explorar mais sobre nossas soluções avançadas.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D.Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa.Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
com e sem TaC
Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos.Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
Susceptor revestido com TaC
Grafite com reator revestido com TaC
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Cadinho de revestimento CVD de carboneto de tântalo
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Placa revestida de carboneto de tântalo
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Peças personalizadas de revestimento de carboneto de tântalo CVD
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Meia-lua de revestimento de carboneto de tântalo
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