A Semicera fornece revestimentos especializados de carboneto de tântalo (TaC) para vários componentes e transportadores.O processo de revestimento líder da Semicera permite que revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta tolerância química, melhorando a qualidade do produto de cristais SIC/GAN e camadas EPI (Susceptor TaC revestido de grafite) e prolongando a vida útil dos principais componentes do reator.O uso do revestimento TaC de carboneto de tântalo é para resolver o problema da borda e melhorar a qualidade do crescimento do cristal, e a Semicera resolveu de forma inovadora a tecnologia de revestimento de carboneto de tântalo (CVD), atingindo o nível avançado internacional.
Com o advento dos wafers de carboneto de silício (SiC) de 8 polegadas, os requisitos para vários processos de semicondutores tornaram-se cada vez mais rigorosos, especialmente para processos de epitaxia, onde as temperaturas podem exceder 2.000 graus Celsius.Materiais susceptores tradicionais, como grafite revestido com carboneto de silício, tendem a sublimar nessas altas temperaturas, interrompendo o processo de epitaxia.No entanto, o carboneto de tântalo CVD (TaC) resolve esse problema de maneira eficaz, suportando temperaturas de até 2.300 graus Celsius e oferecendo uma vida útil mais longa.Contato Semicera's Peça de meia lua revestida com carboneto de tântalo CVDpara explorar mais sobre nossas soluções avançadas.
Após anos de desenvolvimento, a Semicera conquistou a tecnologia deTaC CVDcom os esforços conjuntos do departamento de P&D.Os defeitos são fáceis de ocorrer no processo de crescimento de wafers de SiC, mas depois de usarTaC, a diferença é significativa.Abaixo está uma comparação de wafers com e sem TaC, bem como peças Simicera para crescimento de cristal único.
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com e sem TaC
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Depois de usar TaC (direita)
Além disso, a SemiceraProdutos revestidos com TaCapresentam uma vida útil mais longa e maior resistência a altas temperaturas em comparação comRevestimentos de SiC.Medições laboratoriais demonstraram que nossoRevestimentos TaCpode funcionar consistentemente em temperaturas de até 2.300 graus Celsius por longos períodos.Abaixo estão alguns exemplos de nossas amostras:
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Susceptor revestido com TaC
![4](http://www.semi-cera.com/uploads/425-300x300.png)
Grafite com reator revestido com TaC
![0(1)](http://www.semi-cera.com/uploads/01.png)
![Local de trabalho semicera](http://www.semi-cera.com/uploads/Semicera-Work-place2.jpg)
![Local de trabalho de Semicera 2](http://www.semi-cera.com/uploads/Semicera-work-place-22.jpg)
![Máquina de equipamento](http://www.semi-cera.com/uploads/Equipment-machine2.jpg)
![Armazém Semicera](http://www.semi-cera.com/uploads/Semicera-Ware-House1.jpg)
![Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD](http://www.semi-cera.com/uploads/CNN-processing-chemical-cleaning-CVD-coating2.jpg)
![Nosso serviço](http://www.semi-cera.com/uploads/Our-service3.jpg)
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