Bandeja MOCVD revestida com SiC antioxidação de alta pureza

Breve descrição:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. é um fornecedor líder especializado em wafer e consumíveis semicondutores avançados.Estamos empenhados em fornecer produtos de alta qualidade, confiáveis ​​e inovadores para fabricação de semicondutores,indústria fotovoltaicae outros campos relacionados.

Nossa linha de produtos inclui produtos de grafite revestidos com SiC/TaC e produtos cerâmicos, abrangendo vários materiais como carboneto de silício, nitreto de silício e óxido de alumínio e etc.

Como fornecedor confiável, entendemos a importância dos consumíveis no processo de fabricação e estamos comprometidos em fornecer produtos que atendam aos mais altos padrões de qualidade para atender às necessidades de nossos clientes.

 

Detalhes do produto

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Descrição

Nossa empresa forneceRevestimento de SiCserviços de processo pelo método CVD na superfície de grafite, cerâmica e outros materiais, de modo que gases especiais contendo carbono e silício reagem em alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superfície dos materiais revestidos, formando umCamada protetora de SiC.

 

Principais recursos

1. Resistência à oxidação em alta temperatura:
a resistência à oxidação ainda é muito boa quando a temperatura chega a 1600 C.
2. Alta pureza: feita por deposição química de vapor sob condições de cloração de alta temperatura.
3. Resistência à erosão: alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
4. Resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sal e reagentes orgânicos.

Principais especificações do revestimento CVD-SIC

Propriedades SiC-CVD
Estrutura Cristalina Fase β do FCC
Densidade g/cm³ 3.21
Dureza Dureza Vickers 2500
Tamanho do grão μm 2~10
Pureza Química % 99.99995
Capacidade de calor J·kg-1·K-1 640
Temperatura de Sublimação 2700
Força Felexural MPa (TR 4 pontos) 415
Módulo de Young Gpa (curvatura de 4 pontos, 1300°C) 430
Expansão Térmica (CTE) 10-6K-1 4,5
Condutividade térmica (W/mK) 300
PEÇAS EPITAXIAIS MOCVD
Disco MOCVD

Equipamento

sobre

Local de trabalho semicera
Local de trabalho de Semicera 2
Máquina de equipamento
Processamento CNN, limpeza química, revestimento CVD
Armazém Semicera
Nosso serviço

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