Substrato 4H-SiC tipo P fora de ângulo de 2 ~ 6 polegadas 4 °

Breve descrição:

‌Substrato 4H-SiC tipo P fora do ângulo de 4°‌ é um material semicondutor específico, onde “4° fora do ângulo” refere-se ao ângulo de orientação do cristal do wafer sendo 4 graus fora do ângulo, e “tipo P” refere-se a o tipo de condutividade do semicondutor. Este material tem importantes aplicações na indústria de semicondutores, especialmente nas áreas de eletrônica de potência e eletrônica de alta frequência.


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Os substratos 4H-SiC tipo P fora de ângulo de 2 ~ 6 polegadas e 4 ° da Semicera são projetados para atender às necessidades crescentes de fabricantes de dispositivos de RF e energia de alto desempenho. A orientação fora do ângulo de 4° garante um crescimento epitaxial otimizado, tornando este substrato uma base ideal para uma variedade de dispositivos semicondutores, incluindo MOSFETs, IGBTs e diodos.

Este substrato 4H-SiC tipo P fora de ângulo de 2 a 6 polegadas e 4° tem excelentes propriedades de material, incluindo alta condutividade térmica, excelente desempenho elétrico e excelente estabilidade mecânica. A orientação fora do ângulo ajuda a reduzir a densidade do microtubo e promove camadas epitaxiais mais suaves, o que é fundamental para melhorar o desempenho e a confiabilidade do dispositivo semicondutor final.

Os substratos 4H-SiC tipo P fora de ângulo de 2 ~ 6 polegadas e 4 ° da Semicera estão disponíveis em uma variedade de diâmetros, variando de 2 polegadas a 6 polegadas, para atender a diferentes requisitos de fabricação. Nossos substratos são projetados com precisão para fornecer níveis de dopagem uniformes e características de superfície de alta qualidade, garantindo que cada wafer atenda às rigorosas especificações exigidas para aplicações eletrônicas avançadas.

O compromisso da Semicera com a inovação e a qualidade garante que nossos substratos 4H-SiC tipo P de 2 a 6 polegadas e 4° fora do ângulo ofereçam desempenho consistente em uma ampla gama de aplicações, desde eletrônica de potência até dispositivos de alta frequência. Este produto fornece uma solução confiável para a próxima geração de semicondutores de alto desempenho e eficiência energética, apoiando avanços tecnológicos em setores como automotivo, telecomunicações e energia renovável.

Padrões relacionados ao tamanho

Tamanho 2 polegadas 4 polegadas
Diâmetro 50,8 mm±0,38 mm 100,0mm+0/-0,5mm
Orientação de superfície 4° em direção a<11-20>±0,5° 4° em direção a<11-20>±0,5°
Comprimento plano primário 16,0mm±1,5mm 32,5mm±2mm
Comprimento plano secundário 8,0mm±1,5mm 18,0 mm ± 2 mm
Orientação Plana Primária Paralelo <11-20>±5,0° Paralelo<11-20>±5,0c
Orientação Plana Secundária 90°CW do primário ± 5,0°, silício voltado para cima 90°CW do primário ± 5,0°, silício voltado para cima
Acabamento de superfície Face C: Polimento Óptico, Face Si: CMP Face C: Polimento Óptico, Face Si: CMP
Borda de wafer Chanfrar Chanfrar
Rugosidade Superficial Si-Face Ra<0,2 nm Si-Face Ra<0,2nm
Grossura 350,0±25,0um 350,0±25,0um
Politipo 4H 4H
Dopagem Tipo p Tipo p

Padrões relacionados ao tamanho

Tamanho 6 polegadas
Diâmetro 150,0mm+0/-0,2mm
Orientação de superfície 4° em direção a<11-20>±0,5°
Comprimento plano primário 47,5 mm ± 1,5 mm
Comprimento plano secundário Nenhum
Orientação Plana Primária Paralelo a <11-20>±5,0°
Orientação Plana Secundária 90°CW do primário ± 5,0°, silício voltado para cima
Acabamento de superfície Face C: Polimento Óptico, Face Si:CMP
Borda de wafer Chanfrar
Rugosidade Superficial Si-Face Ra<0,2 nm
Grossura 350,0±25,0μm
Politipo 4H
Dopagem Tipo p

Raman

Substrato 4H-SiC tipo P fora de ângulo de 2-6 polegadas 4°-3

Curva de balanço

Substrato 4H-SiC-4 tipo P fora de ângulo de 2-6 polegadas 4°

Densidade de deslocamento (gravação KOH)

Substrato 4H-SiC tipo P fora de ângulo de 2-6 polegadas 4°-5

Imagens de gravação KOH

Substrato 4H-SiC tipo P de 2-6 polegadas 4° fora do ângulo
Bolachas de SiC

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