Os substratos 4H-SiC tipo P fora de ângulo de 2 ~ 6 polegadas e 4 ° da Semicera são projetados para atender às necessidades crescentes de fabricantes de dispositivos de RF e energia de alto desempenho. A orientação fora do ângulo de 4° garante um crescimento epitaxial otimizado, tornando este substrato uma base ideal para uma variedade de dispositivos semicondutores, incluindo MOSFETs, IGBTs e diodos.
Este substrato 4H-SiC tipo P fora de ângulo de 2 a 6 polegadas e 4° tem excelentes propriedades de material, incluindo alta condutividade térmica, excelente desempenho elétrico e excelente estabilidade mecânica. A orientação fora do ângulo ajuda a reduzir a densidade do microtubo e promove camadas epitaxiais mais suaves, o que é fundamental para melhorar o desempenho e a confiabilidade do dispositivo semicondutor final.
Os substratos 4H-SiC tipo P fora de ângulo de 2 ~ 6 polegadas e 4 ° da Semicera estão disponíveis em uma variedade de diâmetros, variando de 2 polegadas a 6 polegadas, para atender a diferentes requisitos de fabricação. Nossos substratos são projetados com precisão para fornecer níveis de dopagem uniformes e características de superfície de alta qualidade, garantindo que cada wafer atenda às rigorosas especificações exigidas para aplicações eletrônicas avançadas.
O compromisso da Semicera com a inovação e a qualidade garante que nossos substratos 4H-SiC tipo P de 2 a 6 polegadas e 4° fora do ângulo ofereçam desempenho consistente em uma ampla gama de aplicações, desde eletrônica de potência até dispositivos de alta frequência. Este produto fornece uma solução confiável para a próxima geração de semicondutores de alto desempenho e eficiência energética, apoiando avanços tecnológicos em setores como automotivo, telecomunicações e energia renovável.
Padrões relacionados ao tamanho
Tamanho | 2 polegadas | 4 polegadas |
Diâmetro | 50,8mm±0,38mm | 100,0mm+0/-0,5mm |
Orientação de superfície | 4° em direção a<11-20>±0,5° | 4° em direção a<11-20>±0,5° |
Comprimento plano primário | 16,0mm±1,5mm | 32,5mm±2mm |
Comprimento plano secundário | 8,0mm±1,5mm | 18,0 mm ± 2 mm |
Orientação Plana Primária | Paralelo <11-20>±5,0° | Paralelo<11-20>±5,0c |
Orientação Plana Secundária | 90°CW do primário ± 5,0°, silício voltado para cima | 90°CW do primário ± 5,0°, silício voltado para cima |
Acabamento de superfície | Face C: Polimento Óptico, Face Si: CMP | Face C: Polimento Óptico, Face Si: CMP |
Borda de wafer | Chanfrar | Chanfrar |
Rugosidade Superficial | Si-Face Ra<0,2 nm | Si-Face Ra<0,2nm |
Grossura | 350,0±25,0um | 350,0±25,0um |
Politipo | 4H | 4H |
Dopagem | Tipo p | Tipo p |
Padrões relacionados ao tamanho
Tamanho | 6 polegadas |
Diâmetro | 150,0mm+0/-0,2mm |
Orientação de superfície | 4° em direção a<11-20>±0,5° |
Comprimento plano primário | 47,5 mm ± 1,5 mm |
Comprimento plano secundário | Nenhum |
Orientação Plana Primária | Paralelo a <11-20>±5,0° |
Orientação Plana Secundária | 90°CW do primário ± 5,0°, silício voltado para cima |
Acabamento de superfície | Face C: Polimento Óptico, Face Si:CMP |
Borda de wafer | Chanfrar |
Rugosidade Superficial | Si-Face Ra<0,2 nm |
Grossura | 350,0±25,0μm |
Politipo | 4H |
Dopagem | Tipo p |