Aquecedores de grafite revestidos com SiC personalizados para wafers semicondutores

Pequena descrição:

Tecnologia energética Co. de WeiTai, Ltd. é um fornecedor líder de cerâmica semicondutora avançada e o único fabricante na China que pode fornecer simultaneamente cerâmica de carboneto de silício de alta pureza (especialmente oRecristalizado SiC) e revestimento CVD SiC.Além disso, nossa empresa também está comprometida com campos cerâmicos como alumina, nitreto de alumínio, zircônia e nitreto de silício, etc.

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Principais características do aquecedor de grafite:

1. uniformidade da estrutura de aquecimento.

2. Boa condutividade elétrica e alta carga elétrica.

3. resistência à corrosão.

4. inoxidabilidade.

5. alta pureza química.

6. alta resistência mecânica.

A vantagem é eficiência energética, alto valor e baixa manutenção.Podemos produzir cadinho de grafite antioxidação e longa vida útil, molde de grafite e todas as peças do aquecedor de grafite.

Parâmetros principais do aquecedor de grafite

Especificação técnica	Semícera-M3
Densidade aparente (g/cm3)	≥1,85
Conteúdo de cinzas (PPM)	≤500
Dureza Shore	≥45
Resistência Específica (μ.Ω.m)	≤12
Resistência à Flexão (Mpa)	≥40
Resistência à Compressão (Mpa)	≥70
Máx.Tamanho do grão (μm)	≤43
Coeficiente de Expansão Térmica Mm/°C	≤4,4*10-6